膜厚測量儀主要采用了X射線熒光光譜技術(XRF技術),通過發(fā)射出的X射線來對材料內部的分子結構進行分析,從而得到材料的厚度和組成。X射線通過材料后,與材料中的元素反應并產生熒光信號,該熒光信號的波長和強度反映了樣品中的元素種類和含量。通過這種方式來測量薄膜的厚度以及成分。
應用場景:
1、半導體加工
在半導體制造業(yè)中,不同工藝步驟所涉及的膜厚以及成分都不同,需要采用高靈敏度的儀器來進行檢測。膜厚測量儀能夠精確測量超薄膜,對后續(xù)工序制定提供參考。
2、金屬材料檢測
在金屬材料制造業(yè)中,需要對金屬表面的薄膜進行監(jiān)控和質量控制。膜厚測量儀可以準確地檢測不同種類和厚度的金屬薄膜,從而保證產品的質量。
3、涂層檢測
涂層是廣泛應用的物理表面改性工藝,涂層的厚度和成分會直接影響到涂層的質量和使用壽命。通過膜厚測量儀可以及時掌握涂層的信息,并對質量進行控制。
膜厚測量儀是一種應用廣泛的電子、金屬、化學等多個領域的精密測量工具。在當前以品質為導向的制造環(huán)境下,膜厚測量儀已經(jīng)成為現(xiàn)代制造工藝中bu可缺少的設備,為保證材料及產品品質提供了有力支持。